種類 卓上顕微鏡
型式 TM4000PlusⅡ
メーカー 日立

導入年度 2023
機器分類 画像解析系
設置場所 306室　

概要
卓上型のSEM（走査型電子顕微鏡）

仕様
●倍率 ×10～×100,000（写真倍率）　×25～×250,000(モニター倍率)
●加速電圧 5 kV、10 kV、15 kV、20 kV
●画像信号 反射電子、二次電子、合成（反射電子＋二次電子）
●真空モード 導電体（反射電子のみ）、標準、帯電軽減
●試料可動範囲 X：40 mm Y：35 mm
●最大試料サイズ 80 mm（径）、50 mm（厚さ）
●電子銃 プリセンタードカートリッジフィラメント
●検出器 反射電子：高感度4分割 反射電子検出器
●二次電子：高感度低真空 二次電子検出器
●排気系（真空ポンプ） ターボ分子ポンプ：67 L/s　1台
●ダイアフラムポンプ：20 L/min

●追加試料ホルダー　STEMホルダー、スライド用ホルダー

注意事項
※試料固定用のSEM用カーボンテープを用意しています。御使用下さい。