種類 走査型電子顕微鏡
型式 S-5000
メーカー （株）日立ハイテクフィールディング

導入年度 1996
機器分類 画像解析系
設置場所 307室　

概要
走査型電子顕微鏡

仕様
●分解能　1.5nm（15kV）、5.0nm（1kV）
●倍率　20～1000,000倍
●試料サイズ　最大10mm
●加圧電圧　0.5kV～30kV
電子線を試料に照射して試料表面を観察する装置です。

注意事項
初めて使われる方は、予め研修を受けてからの使用となります。